Sheet to Sheet 疊層機

用途

規格

• 生產速度 : 10~12秒/每層
• 疊層尺寸 : 150mm Bar
• 可處理瓷膜厚度 : 1μm ~ 50μm
• 可處理不同 Pattern 數量 : Max 35 種不同 Pattern
• 最大疊層數 : 200 layer 或 6mm 總厚度
• 壓模溫度設定 : 室溫~ 85°C( 2組模溫, 獨立設定)
• CCD對位精度 : ±5μm
• 機構位置重覆精度 : ±10μm
• 疊層綜合精度 : ±20μm (以50層之檢查標準)
• 真空疊層壓合出力 : 20~80 噸
• 同時吸附2張薄帶之防止 : 交差式吸嘴及雷射測厚
• 雷射測厚儀精度 : ±2 μm
• 疊層正確順序之檢查及確保(CCD inspection)